 Autoclave |
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| Liquid CO Supply Pressure |
650 ~ 1100 psi
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| Propellant Type |
CDA, N2, Ar, CO |
| Propellant Supply Pressure |
70~150 psi
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| Propellant Temperature |
20~125
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| Snow Tube
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0.03 inch
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| Cleaning Zone Dimension |
161214 inch
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| HEPA System Temperature
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50(max)
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| CleanStation Dimension
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26 x 22 x 28 inch |
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| 二酸化炭素洗浄法は環境や人体へのリスクがなく、良い洗浄効率を持っています。
ドライアイスを表面に衝突させて汚染を除去する洗浄方法で、ペレット（Pellet）型とスノー（Snow）型があります。
弊社が保有しているドライアイス洗浄装置は、スノー（Snow）型の装置で、仕様は上の表の通りです。 |
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 工程原理 |
• 空気力学的抗力（Aerodynamic drag force）
• Dry-ice snow粒子の衝突エネルギー
• Dry-ice snow液化による溶解力
• 汚染膜と母材の熱違い
• Thermophoresisによる除去 |
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| テストの例 |
| * Wafer |
* 電子部品 |
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| * Stones(石材) |
* Woods(木材) |
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| *木材/石材の場合、表面損傷なく洗浄することができます。 |
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| 適用分野 |
• 単純接続状態の汚染除去に効果的です。
• 表面の有機汚染物質と粒子汚染の除去が可能です。
• 金属、木材、石材など様々な形態の材料と汚染に適用可能。
• 精密部品や文化財などの洗浄対象を保護するとき精密洗浄が可能。
• Dry-ice snow systemは、使用目的に合わせて製作する/設定して、様々な産業に適用可能 |
